🚨 事故摘要： 某半导体厂超纯水系统EDI产水电阻率在24小时内从18.2MΩ·cm缓慢下降至15MΩ·cm，触发品质报警。排查发现二级RO产水电导异常升高，根因为阻垢剂过量投加。
1. 故障时间线
第1天 08:00
电阻率18.2，正常
第1天 14:00
电阻率17.8，轻微下降
第2天 02:00
电阻率16.2，触发预警
第2天 08:00
电阻率15.0，紧急排查
2. 排查过程
- ✅ 校验EDI仪表：正常
- ✅ 检查EDI电压电流：正常
- ⚠️ 发现二级RO产水电导从1μS/cm升至5μS/cm
- 🔍 根因：阻垢剂计量泵故障，过量投加导致RO膜污染
3. 整改措施
- 立即停止阻垢剂投加，冲洗RO膜
- 修复计量泵，增加流量报警
- 增加二级RO产水电导在线监测