1. 系统概述

本规格书适用于半导体工厂FMCS（厂务监控系统）的设计、供货、安装、调试及验收。

2. 主要技术指标

• 系统可用率：≥99.9%
• 数据刷新周期：≤2秒
• 历史数据存储：≥3年
• 报警响应时间：≤1秒

3. IO清单模板

包含HVAC、CDA、UPW、PCW、电气等系统的AI/AO/DI/DO点数统计表。

4. 验收标准

• IO点对点测试100%通过
• PID控制精度满足工艺要求
• 冗余切换测试通过