GB 50073是洁净室设计的"宪法"。本文用通俗语言解读核心条款,帮助工程师快速理解规范要求。
1. 洁净度等级
规范采用ISO 14644-1等级划分(Class 1~9)。厂务常见为ISO 5~8级。
2. 温湿度要求
电子洁净室:温度20~26℃,相对湿度30%~70%。具体根据工艺确定。
3. 压差要求
洁净区与非洁净区之间≥5Pa,洁净区与室外≥10Pa。
4. 换气次数
非单向流洁净室换气次数:ISO 5级≥240次/h,ISO 6级≥150次/h,ISO 7级≥60次/h,ISO 8级≥20次/h。